
电子特气即电子特种气体,是集成电道、显示面板、半导体照明、光伏等电子工业出产创设历程中不成或缺的根源和撑持性资料之一。
电子特气普通操纵于太阳能电池片、半导体发光二极管(LED)、液晶面板、光纤、IC、半导体分立器件、线道板出产历程中的薄膜、光刻、刻蚀、掺杂、气相重积、扩散等工艺,正在要害造程上起到至极要紧的效率。正在集成电道创设界限,电子特气是仅次于硅片的第二大创设资料,占晶圆创设本钱的 13%,其质料对电子元器件本能有要紧影响。
电子特气举动电子化学品顶用量较大的分支,产物品种繁多。半导体工业中操纵的有 110多种电子特气,常用的有 30 种旁边,可能分为刻蚀/洗刷用气体、离子注入气体、气相重积用气体、掺杂气体、洗刷用气体等,被称为电子工业的“血液”和“粮食”。
电子特气的需求重要会合正在集成电道、显示面板、光伏和 LED四大界限。从环球需求布局来看,集成电道是的电子特气最重要的操纵界限,占墟市总需求的 71%,显示面板界限需求位居第二,占 18%。从我国需求来看,集成电道界限仍是最重要的操纵界限,需求占比 42%,显示面板界限需求占比 37%。
我国集成电道界限对电子特气的需求占比相对较低,一方面因为我国的集成电道财产时间秤谌和财产领域与寰宇先辈秤谌比拟存正在必然差异,另一方面我国显示面板财产较为郁勃,对电子特气需求呈繁荣态势。
正在5G 通信、智能终端、汽车电子等新兴界限的鼓动下,环球集成电道、显示面板等财产连结了稳当延长,鼓动了电气特气需求的延长。遵循 TECHECT 数据,2017 年环球电子特气墟市领域约为 36.91 亿美元,2020 年推广至 41.85 亿美元,2021 年进一步延长至 45.38 亿美元,2017 年至 2021 年复合延长率为 5.30%,估计 2025 年墟市容量将跨越 60 亿美元,2021年-2025 年复合延长率 7.33%。
遵循 SEMI 数据,2017 年我国电子气体墟市领域为 109.3 亿元,2021 年延长至 195.8 亿元。跟着双碳趋向下我国光伏财产的疾速开展以及集成电道和显示面板界限的延长,希望激动我国电子气体需求的疾速延长。估计 2025 中国电子气体墟市领域将擢升到 316.60 亿元,2021年到 2025 年复合延长率达 12.77%,增速明显高于环球电子气体延长率。
跟着下游半导体河山投资力度络续加大,我国的集成电道界限需求亦疾速延长。2020 年我国集成电道电子气体墟市领域为 76 亿元,2021 年延长至 85 亿元,估计 2025 年领域为 134亿元,2021 至 2025 年复合延长率为 12.05%,总体展现疾速延长态势。
电气特气财产起源自工业气体行业,20 世纪 60 年代起先,跟着电子工业等高新时间财产的振兴与开展,鼓动了对电子气体及其它非常用处的高纯气和搀和气的需求。目前国际上从事电子气体营业的公司有 60 余家,重要漫衍正在美国、日本、欧洲、韩国等地。
从环球墟市占比来看,以海表龙头林德集团、氛围化工、液化氛围和大阳日酸为首的四大电子特气公司占领环球 90%以上的电子气体墟市份额,墟市高度会合,造成了寡头垄断的格式。这些公司寻常不才旅客户配置集成电道工场时同步配置气站和供气方法,通过现场空分造气或罐车按期配气,并借帮较强的时间供职和品牌才略为集成电道企业供给整套气体办理计划,拥有较强的墟市竞赛力,造成较高的时间和专利壁垒。
正在电子特气细分界限,个人日本企业攻克了较大比重,蕴涵昭和电工、合东电化工业、Adeka(艾迪科)、日本主旨硝子(Central Glass)、住友精化、大金工业等。如高纯度氯气的重要厂商是昭和电工和 Adeka (艾迪科);合东电化工业的 WF6(六氟化钨)环球占比 30%,CF4 (四氟化碳)和 CHF3 (三氟甲烷)环球占比 40%。
我国电子特气财产起步较晚,国内电子特气墟市重要被表资四大巨头攻克。受益于上游半导体行业的高速开展,近年来国产电子特气财产化历程不断加快,个人高端种类竣工时间打破与大领域操纵,与海表的时间代差渐渐缩幼。比如以高纯氨、氯化氢、四氟化碳、三氟化氮等为代表的国产电子特气,正在 8 英寸晶圆、太阳能电池平和板显示界限均有较好的出现。
目前我国根本筑成了种类完满、质料迫近的电子特气工业体例,从事电子气体探索和出产的企业有 40 多家,蕴涵昊华气体、派瑞特气、南大光电、华特气体等。国内当先企业正在各自细分产物上络续打破,产物正在竣工本土化批量供应的同时远销海表。从各企业的产物构造来看,各企业的产物构造各取所长,各具特质,有帮于行业历久壮健开展。
与海表巨头比拟,我国电子特气企业总体领域较幼,环球墟市占领率仍较低。国内能批量出产的电子特气重要会合正在集成电道的洗刷、蚀刻、光刻等工艺合节,对掺杂、重积等工艺界限所需的电子特气仅有少个人种类博得打破。
据中国工业气体工业协会统计,目前集成电道出产用的电子特气我国仅能出产约 20%的种类。个中三氟化氮、四氟化碳、六氟化硫、六氟化钨、氧化亚氮、氨气等产物的国产化水平较高,个中个人种类的国产化率跨越 50%。但准分子气体(氟基混配气体,重要操纵正在激光界限)等国产化率还较量低。
跟着国内集成电道的疾速开展与国度战略的鼎力帮帮,国内电子特气财产开展所需配套时间、原料、工程等络续成熟,人才储蓄和学问产权构造见效光鲜,对激动电子特气财产的国产代替供给了有利前提。因为本土电子特气厂商扩能速率速,人为及原资料本钱低,联系时间打破后的产物将极具竞赛力,将来的墟市空间空阔。
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